Metalo-dielektrični višeslojni sustavi važni su zbog mogućnosti ovih struktura da se koriste kao senzori, filteri i apsorberi. Izrada mikro/nanostruktura je složena, zahtjevna i uključuje više koraka u procesu izrade. Procesi električnog polariziranja stakla (eng. glass poling, GP) i razlaganje uz pomoć električnog polja (eng. electric field assisted dissolution, EFAD) imaju potencijal za korištenje u mikro/nano strukturiranju metalo-dielektričnih sustava. Da bi se to postiglo potrebno je kontrolirati dinamiku GP-a i EFAD-a i svojstva materijala u višeslojnim sustavima tijekom GP-a i EFAD-a. Cilj ovog rada je postići spomenutu kontrolu GP-a i EFAD-a i izraditi mikrostrukturirani metalo-dielektrični višeslojni sustav sa željenim optičkim performansama kao demonstrator prikladnosti EFAD-a kao metode za mikrostrukturiranje ovih sustava. Cilj ovog rada je bio izraditi mikrostrukturirani metalo-dielektrični višeslojni sustav sa željenim optičkim svojstvima i tako pokazati prikladnost EFAD-a za mikrostrukturiranje. Ovaj je cilj bio postignut podjelom istraživanja na djelomične ciljeve: i) povezivanje promjena u indeksu loma podloge s promjenama njegova sastava nakon GP-a. Budući da će se kao podloga za filter koristiti staklo, proučene su promjene u različitim vrstama stakla kako bi se izabrao najučinkovitiji i najjednostavniji sustav. ii) upoznati simultani EFAD-a sustava koji sadrži dva različita metala, budući da je upravo taj proces ključan za izradu mikrofiltera. Testirane su različite kombinacije metala kako bi se izabrala ona koju je najlakše kontrolirati u procesu. iii) depozicija, mikrostrukturiranje i analiza mikrostrukturiranog filtera. Tanki slojevi višeslojnih sustava su izrađeni metodom naparavanja pomoću elektronskog snopa. Uzorci su tretirani GP-om u vakuumu i na zraku, EFAD-om i zagrijavanjem. Profili indeksa loma tretiranih uzoraka su dobiveni optičkom karakterizacijom na osnovu elipsometrijskih mjerenja. Masena spektroskopija sekundarnih iona je korištena za određivanje dubinskog profila koncentracije alkala i metala. Dubinski profil koncentracije iona stakla je modelirana numeričkim simulacijama koristeći diferencijalne jednadžbe koje opisuju drift i difuziju struja i njihov razvoj tokom vremena. Površinski profil dobivene mikrostrukture je analiziran profilometrom. Ostvaren je znatan znanstveni doprinos području kao rezultat istraživanja. Razumjelo se kako je profil indeksa loma stakla koreliran s preraspodjelom iona alkala i drugim strukturnim promjenama u staklu. Kvantitativno je određen specifični doprinos različitih vrsta alkala indeksu loma stakla. Shvaćena je dinamika GP-a s više vrsta iona i simultanog EFAD-a dva metala uronjenih u dielektrični višeslojni sustav. Shvaćeni su uzroci razlika u optičkom odzivu izrađenog i dizajniranog mikrostrukturiranog filtera