prikaz prve stranice dokumenta Utjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva
Access restricted to students and staff of home institution
master's thesis
Utjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva
2017. urn:nbn:hr:194:545554
Ribarić, Sonja
University of Rijeka
Faculty of Physics

Cite this document

Ribarić, S. (2017). Utjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva (Master's thesis). Rijeka: University of Rijeka. Retrieved from https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:194:545554

Ribarić, Sonja. "Utjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva." Master's thesis, University of Rijeka, 2017. https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:194:545554

Ribarić, Sonja. "Utjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva." Master's thesis, University of Rijeka, 2017. https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:194:545554

Ribarić, S. (2017). 'Utjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva', Master's thesis, University of Rijeka, accessed 23 October 2024, https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:194:545554

Ribarić S. Utjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva [Master's thesis]. Rijeka: University of Rijeka; 2017 [cited 2024 October 23] Available at: https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:194:545554

S. Ribarić, "Utjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva", Master's thesis, University of Rijeka, Rijeka, 2017. Available at: https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:194:545554

Please login to the repository to save this object to your list.
Metadata
TitleUtjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva
Title (english)Effect of temperature and substrate on the grain size of polycrystalline titanium dioxide films grown by atomic layer deposition
AuthorSonja Ribarić
MentorIva Šarić (mentor)
MentorIvna Kavre Piltaver (komentor)
Committee memberIva Šarić (predsjednik povjerenstva)
Committee memberVelimir Labinac (član povjerenstva)
Committee memberIvna Kavre Piltaver (član povjerenstva)
GranterUniversity of Rijeka
(Faculty of Physics)
Rijeka
Defense date and country2017-09-27, Croatia
Scientific / art field,
discipline and subdiscipline		NATURAL SCIENCES
Physics
Abstract
Kristalna struktura i veličina polikristalnih zrna tankih TiO2 filmova narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva (ALD) analizirani su pretražnim elektronskim mikroskopom (SEM) i uređajem za spektrometriju fotoelektrona rendgenskim zračenjem (XPS). Filmovi debljine oko 50 nm su narastani na različitim temperaturama u temperaturnom intervalu od 200 °C do 250 °C s poznatim TiCl4 – H2O ALD procesom na Si podlozi. Veličina zrnca TiO2 anatazne faze se značajno povećala ako se Al2O3 međusloj deponirao na Si površinu u istom ALD procesu, prije narastanja TiO2 sloja. Najveće dimenzije TiO2 zrna od 382 nm opažene su na filmovima narastanima na čistom Si pri temperaturi od 250 °C. Dodavanjem Al2O3 međusloja, veličina zrna povećala se na 630 nm. U ovoj diplomskoj radnji pokazano je da se veličina zrna TiO2 antazane faze može kontrolirati mijenjanjem temperature narastanja i dodavanjem nanometarskog Al2O3 međusloja. Bolji rast kristala u horizontalnom smjeru opažen na TiO2 filmovima narastanima na Al2O3 međusloju objašnjen je nižom površinskom gustoćom zrna koja nastaju u početnim fazama narastanja filma.
Keywords
Languagecroatian
URN:NBNurn:nbn:hr:194:545554
Study programmeTitle: Graduate University Study of Electrical Engineering
Study programme type: university
Study level: graduate
Academic / professional title: magistar/magistra inženjerstva i fizike materijala (magistar/magistra inženjerstva i fizike materijala)
Type of resourceText
File originBorn digital
Access conditionsAccess restricted to students and staff of home institution
Terms of useLicence In copyright icon
Created on2017-10-26 10:55:55