prikaz prve stranice dokumenta Utjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva
Pristup korisnicima matične ustanove
diplomski rad
Utjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva
2017. urn:nbn:hr:194:545554
Ribarić, Sonja
Sveučilište u Rijeci
Fakultet za fiziku

Citirajte ovaj rad

Ribarić, S. (2017). Utjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva (Diplomski rad). Rijeka: Sveučilište u Rijeci. Preuzeto s https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:194:545554

Ribarić, Sonja. "Utjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva." Diplomski rad, Sveučilište u Rijeci, 2017. https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:194:545554

Ribarić, Sonja. "Utjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva." Diplomski rad, Sveučilište u Rijeci, 2017. https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:194:545554

Ribarić, S. (2017). 'Utjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva', Diplomski rad, Sveučilište u Rijeci, citirano: 23.10.2024., https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:194:545554

Ribarić S. Utjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva [Diplomski rad]. Rijeka: Sveučilište u Rijeci; 2017 [pristupljeno 23.10.2024.] Dostupno na: https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:194:545554

S. Ribarić, "Utjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva", Diplomski rad, Sveučilište u Rijeci, Rijeka, 2017. Dostupno na: https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:194:545554

Za citiranje koristite ovu mrežnu adresu: https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:194:545554
Prijavite se u repozitorij kako biste mogli spremiti objekt u svoju listu.
Podaci o radu
NaslovUtjecaj temperature i površine podloge na veličinu zrna polikristalnih filmova titanovog dioksida narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva
Naslov (engleski)Effect of temperature and substrate on the grain size of polycrystalline titanium dioxide films grown by atomic layer deposition
AutorSonja Ribarić
MentorIva Šarić (mentor)
MentorIvna Kavre Piltaver (komentor)
Član povjerenstvaIva Šarić (predsjednik povjerenstva)
Član povjerenstvaVelimir Labinac (član povjerenstva)
Član povjerenstvaIvna Kavre Piltaver (član povjerenstva)
Ustanova koja je dodijelila
akademski / stručni stupanj		Sveučilište u Rijeci
(Fakultet za fiziku)
Rijeka
Datum i država obrane2017-09-27, Hrvatska
Znanstveno / umjetničko
područje, polje i grana		PRIRODNE ZNANOSTI
Fizika
Sažetak
Kristalna struktura i veličina polikristalnih zrna tankih TiO2 filmova narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva (ALD) analizirani su pretražnim elektronskim mikroskopom (SEM) i uređajem za spektrometriju fotoelektrona rendgenskim zračenjem (XPS). Filmovi debljine oko 50 nm su narastani na različitim temperaturama u temperaturnom intervalu od 200 °C do 250 °C s poznatim TiCl4 – H2O ALD procesom na Si podlozi. Veličina zrnca TiO2 anatazne faze se značajno povećala ako se Al2O3 međusloj deponirao na Si površinu u istom ALD procesu, prije narastanja TiO2 sloja. Najveće dimenzije TiO2 zrna od 382 nm opažene su na filmovima narastanima na čistom Si pri temperaturi od 250 °C. Dodavanjem Al2O3 međusloja, veličina zrna povećala se na 630 nm. U ovoj diplomskoj radnji pokazano je da se veličina zrna TiO2 antazane faze može kontrolirati mijenjanjem temperature narastanja i dodavanjem nanometarskog Al2O3 međusloja. Bolji rast kristala u horizontalnom smjeru opažen na TiO2 filmovima narastanima na Al2O3 međusloju objašnjen je nižom površinskom gustoćom zrna koja nastaju u početnim fazama narastanja filma.
Ključne riječi
Jezikhrvatski
URN:NBNurn:nbn:hr:194:545554
Studijski programNaziv: Inženjerstvo i fizika materijala
Vrsta studija: sveučilišni
Stupanj studija: diplomski
Akademski / stručni naziv: magistar/magistra inženjerstva i fizike materijala (mag. phys. et techn.)
Vrsta resursaTekst
Način izrade datotekeIzvorno digitalna
Prava pristupaPristup korisnicima matične ustanove
Uvjeti korištenjaIkona licence Zaštićeno autorskim pravom.
Datum i vrijeme pohrane2017-10-26 10:55:55